Producten Beschrijving
Keramische halfgeleidermondstukken dienen als kritische precisiecomponenten in apparatuur voor de fabricage van halfgeleiderwafels (zoals etsers, systemen voor chemische dampafzetting en ionenimplanteerders). Hun primaire functie is het nauwkeurig geleiden, distribueren en controleren van procesgassen (of reactieve gassen) en plasma, en hen te laten interageren met siliciumwafeloppervlakken onder specifieke stroompatronen en energietoestanden. Dit maakt processen mogelijk zoals dunne-filmafzetting, patroonetsen en oppervlaktemodificatie.
Productprestaties
- Uitzonderlijke slijtvastheid en langere levensduur: keramische materialen bezitten een extreem hoge hardheid (bijvoorbeeld 995 aluminiumoxide-keramiek overtreft Hv1500, terwijl zirkoniumoxide-keramiek even uitmuntend is), waardoor ze effectief bestand zijn tegen langdurige slijtage door vaste deeltjes in slurries zoals fotoresist en polijstoplossingen.
- Uitzonderlijke weerstand tegen chemische corrosie: Ze vertonen een uitstekende tolerantie voor oplosmiddelen in fotoresisten, sterke zure/alkali-reinigingsoplossingen, reactieve gassen en andere corrosieve stoffen, en vertonen geen roest of chemische degradatie, zelfs na langdurig gebruik.
- Superieure thermische en dimensionale stabiliteit: met een extreem lage thermische uitzettingscoëfficiënt behouden keramieken consistente poriënvormen en -afmetingen op micron- of zelfs nanometer-niveau bij schommelingen in de procestemperatuur.
- Hoge oppervlakteafwerking en lage vervuiling: keramische gesinterde lichamen kunnen een spiegel-achtige afwerking bereiken door middel van precisiekeramische bewerking. De oppervlakken zijn bestand tegen deeltjeshechting, zijn niet-magnetisch en gemakkelijk schoon te maken.
- Uitstekende isolatie en functionele eigenschappen: Keramiek is een superieur isolator. Alumina biedt uitstekende isolatieprestaties en wordt vaak gebruikt in aluminiumoxide-isolatoren en ZrO₂-isolerende keramische platen. Aluminiumoxidenitride-keramiek vertoont ook een hoge thermische geleidbaarheid, geschikt voor toepassingen met speciale eisen voor temperatuurregeling.
Producten toepassing
- Plasma-etser: Functioneert als een gassproeikop of zijwandmondstuk om het etsgas gelijkmatig te verdelen.
- Apparatuur voor chemische dampafzetting: Bij PECVD- en ALD-processen wordt precursorgas gelijkmatig in de reactiekamer geïntroduceerd.
- Ionenimplantator: wordt gebruikt om de ionenbundel te geleiden en te vormen.
- Diffusieoven: Dient als gasinjectiemondstuk.
Kwaliteitscontrole
We volgen het ISO 9001-kwaliteitsmanagementsysteem strikt om consistentie te garanderen:
- 100% grondstoffeninspectie
- Geavanceerde hot{0}}productielijnen
- Interne-testen: dichtheid, hardheid, microstructuuranalyse
- Certificeringen van derden- (SGS, CE, ROHS beschikbaar op aanvraag)
Certificaten en onderscheidingen
Wij beschikken over geavanceerde technische expertise op het gebied van onder meer sinteren, vormen, slijpen, CNC-bewerkingen, laserboren, slijpen en polijsten. Wij personaliseren verschillende keramische producten volgens de wensen van de klant.
fabriek sterkte
We gebruiken wetenschappelijke methoden en technieken tijdens de ontwerp- en productieprocessen van producten of projecten om hun structuur, prestaties en productieworkflows te optimaliseren en te verbeteren op basis van de eisen van de klant. Dit proces is gericht op het bevorderen van technologie, het verbeteren van de productkwaliteit en het verlagen van de productiekosten.
Populaire tags: halfgeleider keramisch mondstuk, fabrikanten van halfgeleider keramisch mondstuk, leveranciers, fabriek
