Producten Beschrijving
Keramische siliciumcarbide-klauwplaten zijn geavanceerde functionele componenten vervaardigd uit hoog-zuivere keramische materialen van siliciumcarbide.
Ze zijn speciaal ontworpen voor nauwkeurige fixatie, ondersteuning en thermische geleiding in ultra-hoogvacuüm en extreme procesomgevingen. Als kernverbruiksartikelen voor apparatuur voor de productie van halfgeleiders-zoals lithografiemachines, etsmachines en CVD/PVD-systemen-zijn hun prestaties rechtstreeks bepalend voor de precisie van de chipproductie, de opbrengst en de productie-efficiëntie.
Productprestaties
- Uitzonderlijke hardheid en slijtvastheid: Met een Mohs-hardheid van meer dan 9,2 is siliciumcarbide een van de hardste technische keramische materialen, na diamant de tweede. Dit maakt siliciumcarbideproducten zoals siliciumcarbide bussen, siliciumcarbide lagers en mechanische afdichtingen van siliciumcarbide zeer slijtvast en ideaal voor slijtvaste keramische toepassingen.
- Superieure thermische en chemische stabiliteit: Het vertoont een extreem lage thermische uitzettingscoëfficiënt en kan werken bij temperaturen tot 1650 graden in inerte atmosferen. Deze vuurvaste eigenschap, gecombineerd met uitstekende weerstand tegen thermische schokken en corrosie door zuren en logen, maakt het perfect voor verwarmingselementen van siliciumcarbide, beschermbuizen van siliciumcarbide en componenten in CMP- en ICP-processen.
- Uitstekende thermische geleidbaarheid en elektrische afstembaarheid: De hoge thermische geleidbaarheid (vaak superieur aan koper bij hoge temperaturen) maakt siliciumcarbideplaten ideaal als substraten voor thermisch beheer. De elektrische weerstand ervan kan nauwkeurig worden ontworpen, waardoor het kan worden gebruikt in elektrostatische klauwplaten (ESC's) en als halfgeleidermateriaal met grote bandafstand voor vermogenselektronica.
- Hoge sterkte en lichtgewicht: Gesinterd SiC biedt hoge mechanische sterkte en stijfheid bij een relatief lage dichtheid, wat bijdraagt aan de duurzaamheid en precisie van componenten zoals siliciumcarbiderollen en peddels.
- Veelzijdigheid bij de productie: Siliciumcarbide-keramiek kan tot complexe vormen worden gevormd via sinteren, reactiebinding of chemische dampafzetting (CVD). Na-verwerking zoals siliciumcarbidecoating (bijvoorbeeld CVD SiC-coating) kan de oppervlakte-eigenschappen voor specifieke toepassingen verder verbeteren.
Producttoepassing
- Halfgeleiderproductie: essentieel voor het hanteren en verwerken van wafers. Belangrijke producten zijn onder meer ESC's voor etsen (ICP) en afzetting (PVD, CVD), siliciumcarbidedragers voor CMP en proceskits zoals siliciumcarbideboten, siliciumcarbide-peddels en siliciumcarbide-ovenbuizen. Hoge-zuiverheidsgraden zijn van cruciaal belang om besmetting te voorkomen.
- Industrieel en metallurgisch: Gebruikt als ovenmeubilair (rollen, balken), componenten in pompen en kleppen (afdichtingen, bussen), voeringen voor cyclonen en smeltkroezen voor het smelten van metaal. Vuurvaste materialen van siliciumcarbide worden gebruikt in hoge- ovens.
- Energie en milieu: Componenten in warmtewisselaars (siliciumcarbide warmtewisselaarbuizen), afdichtingsringen voor pompen in zware omgevingen en substraten voor sputterdoelen.
- Lucht- en ruimtevaart en defensie: wordt gebruikt in keramische matrixcomposieten (CMC's), pantsering en componenten voor omgevingen met hoge- temperaturen en hoge- stress vanwege het vermogen tot ultra- hoge temperaturen.
- Elektronica: Als substraat voor GaN op SiC in RF-apparaten en als basismateriaal voor siliciumcarbide-vermogenshalfgeleiders zelf.
- Automotive: componenten in remsystemen en waterpompen, en als kernmateriaal voor de vermogenselektronica van elektrische voertuigen.
- Additive Manufacturing: Toenemend gebruik in keramische additive manufacturing voor de productie van complexe siliciumcarbideonderdelen.
Rechtvaardiging voor selectie
Als u voor onze keramische vacuümklauwplaat van siliciumcarbide kiest, kiest u:
- Hogere opbrengst: minder procesfouten door uitzonderlijke thermische uniformiteit en stabiliteit.
- Lagere CoO: Aanzienlijk lagere kosten per wafer dankzij een langere levensduur en minimale uitvaltijd voor onderhoud.
- Geavanceerde procesmogelijkheden: ons bedrijf beschikt over meer dan 30 Chinese patenten. Wij beheersen geavanceerde technische processen, waaronder sinteren, vormen, slijpen, CNC-bewerkingen, laserboren, leppen en polijsten.
- Betrouwbaar partnerschap: we bieden end{0}}tot--services, van ontwerp en productie tot testen en after- after-salesondersteuning.
Fabriekssterkte
Onze digitale werkplaatsen, slimme fabrieken en real{0}}systemen voor gegevensverzameling maken gebruik van lean manufacturing-principes om verspilling te minimaliseren en de efficiëntie van hulpbronnen te maximaliseren.
Door CNC-bewerkingstechnologie, industriële IoT en geautomatiseerde besturingssystemen te integreren, bereiken we naadloze connectiviteit en samenwerking tussen productieapparatuur, waardoor de productiebesparingen worden gemaximaliseerd.
Populaire tags: Keramische siliciumcarbide chuck, keramische siliciumcarbide chuck fabrikanten, leveranciers, fabriek
