De Semiconductor-industrie, als kernstichting van moderne elektronische informatietechnologie, is getuige van continue iteratie en upgraden van zijn apparatuurtechnologieën, aangedreven door de snelle ontwikkeling van sectoren zoals 5G-communicatie, kunstmatige intelligentie en nieuwe energievoertuigen . in het bijzonder, de geavanceerde semiconductor-productie-in-valstrate-dunne-affilms, en ionen-implantatie, en ionen en ionen-implantatie, en ion implantatie, en ionen en ionen en ionen. Bijna-extreme eisen aan de weerstand van de hoge temperatuur, corrosieweerstand en thermische schokweerstand van hun kerncomponenten .
In het licht van materiaalprestatielimieten in de productie van halfgeleiders, krijgen geavanceerde ceramische materialen strategisch belang . Een goed voorbeeld is de kritische grafietcomponenten die worden gebruikt in processen zoals dunne-filmafzetting en hoog-temperatuurdiffusie, waar ze dienen als substraatcurgers en verwarming elementen .}}}}}}}}}}}} echter, traditionele grafietmaterialen: Corrosieve gassen, ze zijn vatbaar voor oppervlaktecorrosie en deeltjesafscheiding . Dit vermindert niet alleen drastisch de levensduur van de componenten, maar vervuilt ook waferoppervlakken met grafietdeeltjes, waardoor de productie ernstig wordt beïnvloed .
Om deze problemen aan te pakken, is siliciumcarbide (SIC) naar voren gekomen als een baanbrekend coatingmateriaal voor grafietcomponenten . met zijn uitzonderlijke thermochemische stabiliteit, hoge thermische geleidbaarheid, oxidatieweerstand, corrosieweerstand en een thermische expansie -distributie en verbetering van de warmtedistributie en verbetering van de warmtegeleiding en verbetering van de warmtegeleid. uniformiteit . Deze innovatieve oplossing overwint de al lang bestaande technische hindernissen in de productie van halfgeleiders, waarbij de weg wordt vrijgemaakt voor hogere efficiëntie en betrouwbaarheid in geavanceerde processen .
Superieure keramiektijden
De Silicon Carbide (SIC) Coating -industrie wordt geconfronteerd met uitzonderlijk hoge toegangsbarrières, voornamelijk gemanifesteerd in drie belangrijke aspecten: gemonopoliseerde productietechnologieën, langdurige ontwikkelings- en certificeringscycli en extreme moeilijkheden in het doordringen van gevestigde supply chains . Momenteel is de markt voornamelijk dominant door ontwikkelde naties zoals de Verenigde Staten en Japan, Industrie .